| 发明名称 |
CHARGED BEAM PROCESSING DEVICE AND ITS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08138617(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19940276243 |
申请日期 |
1994.11.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAMAMURA YUICHI;MIZUMURA MICHINOBU;SHIMASE AKIRA;AZUMA JUNZO;ITO FUMIKAZU |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/244;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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