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发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08138612(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940276371 申请日期 1994.11.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 OCHIAI ISAO;KURODA KATSUHIRO;TAKAGUCHI MASANARI;KAKIBAYASHI HIROSHI;NISHIDA AKIO;SUGA MITSUO;MURAKOSHI HISAYA
分类号 H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
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