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发明名称 MICRO VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08138561(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19930329952 申请日期 1993.11.30
申请人 KIMURA MITSUTERU 发明人 KIMURA MITSUTERU;HONMA MASAHITO
分类号 B81B3/00;H01J1/20;H01J19/08;H01J19/24;H01J21/06;H01J21/10;(IPC1-7):H01J21/06;H01J1/15;H01J1/30 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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