发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08139311(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940293650 申请日期 1994.11.04
申请人 NEC CORP 发明人 NUMAZAWA YOICHIRO;FUJIEDA SHINJI;MIURA YOSHINAO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L29/49;H01L29/772;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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