| 发明名称 |
LIFETIME EVALUATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR SURFACE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08139146(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19940279321 |
申请日期 |
1994.11.14 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HOSHI RYOJI;KITAGAWARA YUTAKA;TAKENAKA TAKUO |
| 分类号 |
G01N21/63;G01N21/66;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/63 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
