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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08139017(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940277779 申请日期 1994.11.11
申请人 NEC CORP 发明人 AOYAMA TORU
分类号 H01L21/205;C23C16/24;C23C16/46;H01L21/20;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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