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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND CHEMICAL MACHINE POLISHER
摘要
申请公布号 JPH08139060(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940295582 申请日期 1994.11.04
申请人 RICOH CO LTD 发明人 FUSE AKIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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