| 发明名称 |
EVALUATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08139149(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19940277957 |
申请日期 |
1994.11.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
TSUKAMOTO KENICHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
