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经营范围
发明名称
Verfahren und Apparat zur optischen Messung.
摘要
申请公布号
DE69114256(T2)
申请公布日期
1996.05.30
申请号
DE19916014256T
申请日期
1991.12.10
申请人
AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US
发明人
HARVEY, GEORGE T., PRINCETON, NEW JERSEY 08540, US;HEUTMAKER, MICHAEL S., TRENTON, NEW JERSEY 08628, US;KUZYK, MARK G., PULLMAN, WASHINGTON 99163, US;SINGER, KENNETH DAVID, PEPPER PIKE, OHIO 44124, US
分类号
G01R19/00;G01R31/302;G01R31/308;G02F1/15;H01L21/66;H01S3/107;(IPC1-7):G01R31/311
主分类号
G01R19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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