发明名称 Prozess und Apparat zur Herstellung supraleitender Dünnschichten
摘要
申请公布号 DE69118969(D1) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE1991618969 申请日期 1991.06.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;HATTORI, HISAO, C/O ITAMI WORKS, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;HARADA, KEIZO, C/O ITAMI WORKS, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;HIGAKI, KENJIRO, C/O ITAMI WORKS, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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