发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Dünnschichthalbleiterlegierung
摘要
申请公布号 DE69024246(T2) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE1990624246T 申请日期 1990.03.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ASHIZAWA, YASUO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;NODA, TAKAO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KUSHIBE, MITSUHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;FUNEMIZU, MASAHISA, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;EGUCHI, KAZUHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;OHBA, YASUO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KOKUBUN, YOSHIHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 C30B25/02;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205;C30B29/42 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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