PACKING ELEMENT, IN PARTICULAR FOR SHUTTING-OFF AND REGULATING MEANS, AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME

摘要

Es handelt sich um ein Dichtungselement, insbesondere für Absperr- und Regelorgane. Das Dichtungselement besteht aus einem plattenförmigen, kolbenförmigen oder kugelförmigen Absperrkörper aus einem metallischen oder nichtmetallischen Werkstoff. Beispielsweise handelt es sich um einen Al2O3-Keramikwerkstoff. Mittels eines Plasma-CVD-Verfahrens ist auf eine Arbeitsfläche des Absperrkörpers eine Kohlenstoff- und silicium-haltige Hartstoffschicht von etwa 1 bis 2 mu m aus einem Haft- und einem Gleitschichtanteil abgeschieden, wobei der Siliciumgehalt im Haftschichtanteil grösser ist als im Gleitschichtanteil. Der Haftschichtanteil besitzt solche duktilen Eigenschaften und weist eine solche Dicke auf, dass er ohne Verlust an Haftfähigkeit an der Arbeitsfläche des Absperrkörpers die Eigenspannung des relativ spröden und harten Gleitschichtanteils aufzunehmen vermag, der eine geringere Dicke als der Haftschichtanteil aufweist.