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经营范围
发明名称
Verfahren und Struktur zur Herstellung einer Isolierung aus VLSI- und ULSI-Schaltungen.
摘要
申请公布号
DE68924468(T2)
申请公布日期
1996.05.30
申请号
DE1989624468T
申请日期
1989.11.08
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
ROBERTS, STANLEY, BURLINGTON VERMONT 05401, US;KAANTA, CARTER WELLING, COLCHESTER VERMONT 05446, US
分类号
H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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