Verfahren zum Auswerten der Prozeßparameter bei der Herstellung von Halbleiteranordnungen sowie Anordnungen dafür,申请号DE19863644458-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Auswerten der Prozeßparameter bei der Herstellung von Halbleiteranordnungen sowie Anordnungen dafür
摘要
申请公布号	DE3644458(C2)	申请公布日期	1996.05.30
申请号	DE19863644458	申请日期	1986.12.24
申请人	SGS MICROELETTRONICA S.P.A., CATANIA, IT	发明人	VENTO, GUISEPPE, AGRATE BRIANZA, IT
分类号	G01R17/02;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01R17/02
代理机构		代理人
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