Verfahren zur Erzeugung einer Dünnschicht TIN.,申请号DE19906022898T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Erzeugung einer Dünnschicht TIN.
摘要
申请公布号	DE69022898(T2)	申请公布日期	1996.05.30
申请号	DE19906022898T	申请日期	1990.07.07
申请人	NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	IKEDA, KOICHI, ZAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;ARITA, YOSHINOBU, KANAGAWA-KEN, JP;MAEDA, MASAHIKO, ATSUGI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号	C23C16/34;C23C16/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320	主分类号	C23C16/34
代理机构		代理人
主权项
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