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Verfahren und Vorrichtung für Beschichtung mittels Katodenzerstäubung mit Verwendung Maschine-lesbarer Indizes von Target-Anordnung getragen worden.
摘要
申请公布号
DE69205009(T2)
申请公布日期
1996.05.30
申请号
DE19926005009T
申请日期
1992.11.12
申请人
MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US
发明人
SHINNEMAN, FRANK, M., RIDGEWOOD, NJ 07450, US;HURWITT, STEVEN, D., PARK RIDGE, NJ, US
分类号
C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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