发明名称 Verfahren und Vorrichtung für Beschichtung mittels Katodenzerstäubung mit Verwendung Maschine-lesbarer Indizes von Target-Anordnung getragen worden.
摘要
申请公布号 DE69205009(T2) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE19926005009T 申请日期 1992.11.12
申请人 MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US 发明人 SHINNEMAN, FRANK, M., RIDGEWOOD, NJ 07450, US;HURWITT, STEVEN, D., PARK RIDGE, NJ, US
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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