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发明名称 Lithographisches Verfahren unter Anwendung von Laser zur Herstellung von elektronischen Elementen und ähnlichen.
摘要
申请公布号 DE3751551(T2) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE19873751551T 申请日期 1987.08.07
申请人 QUANTUM CORP., MILPITAS, CALIF., US 发明人 DAS, SHYAM, ACTON MASSACHUSETTS 01720, US
分类号 C23F4/04;C23F1/02;G03F7/004;G03F7/20;G11B5/127;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;(IPC1-7):G03F7/028;H01F41/14;B23K26/18;B23K26/14 主分类号 C23F4/04
代理机构 代理人
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