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发明名称 Optisches Projektionssystem.
摘要
申请公布号 DE69113715(T2) 申请公布日期 1996.05.30
申请号 DE1991613715T 申请日期 1991.08.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GOODMAN, DOUGLAS S., YORKTOWN HEIGHTS, NY 10598, US;ROSENBLUTH, ALAN E., YORKTOWN HEIGHTS, NY 10598, US;TIBBETTS, RAYMOND E., CAPE CORAL, FLORIDA 33914, US;WILCZYNSKI, JANUSZ S., OSSINING,NY 10562, US
分类号 G02B17/00;G02B17/02;G02B17/08;G02B19/00;G02B27/18;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01S3/101;(IPC1-7):G03B41/00;G02B27/00;G11B7/135 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
主权项
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