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发明名称
Method of forming an integrated circuit with self-aligned contact between closely spaced features
摘要
申请公布号
EP0542477(B1)
申请公布日期
1996.05.29
申请号
EP19920310147
申请日期
1992.11.05
申请人
AT&T CORP.
发明人
BOLLINGER, CHERYL ANNE;CHEN, MIN-LIANG;FAVREAU, DAVID PAUL;STEINER, KURT GEORGE;VITKAVAGE, DANIEL JOSEPH
分类号
H01L21/316;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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