发明名称 Method of forming an integrated circuit with self-aligned contact between closely spaced features
摘要
申请公布号 EP0542477(B1) 申请公布日期 1996.05.29
申请号 EP19920310147 申请日期 1992.11.05
申请人 AT&T CORP. 发明人 BOLLINGER, CHERYL ANNE;CHEN, MIN-LIANG;FAVREAU, DAVID PAUL;STEINER, KURT GEORGE;VITKAVAGE, DANIEL JOSEPH
分类号 H01L21/316;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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