在金属表面沉积硅的工艺中促进硅化合物分解的方法

摘要

在给定的分解百分率下，通过在有机硅化合物中掺和一种分解促进剂有机锡化合物，来降低有机硅化合物的分解温度。有机锡分解促进剂的用量需达到在给定的分解百分率下能有效地降低有机硅分解温度的用量。

主权项

1.一种促进有机硅化合物分解的方法，其中有机硅化合物存在一个分解温度，在此温度下可以达到所设定的分解百分率，这种方法用于在金属表面沉积硅的处理工艺，此方法由几下几步构成：配制有机锡化合物与上述有机硅化合物的混合物，其中有机锡的用量应该是，在能达到所给定的该有机硅化合物分解百分率的前提下，可有效地把该有机硅化合物的分解温度降低到所需要的温度；和在上述已降低的分解温度下，用上述混合物处理金属表面并在该表面沉积硅层。