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发明名称 FUOTOREJISUTO*SUTORITSUPA
摘要
申请公布号 JP2502815(B2) 申请公布日期 1996.05.29
申请号 JP19900514594 申请日期 1990.10.15
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 DEIIN ARISHIA;FUITSUTSUMONZU JON EE;HAABASU JANOSU;MATSUKOOMITSUKU BAAREI SHII;SHAA PUROBODOO AARU
分类号 G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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