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发明名称 ION BEAM PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08134646(A) 申请公布日期 1996.05.28
申请号 JP19940273628 申请日期 1994.11.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONUKI HISAO;OISHI SEITARO
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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