| 发明名称 |
APPARATUS FOR WASHING END EDGE OF SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08131971(A) |
申请公布日期 |
1996.05.28 |
| 申请号 |
JP19940273552 |
申请日期 |
1994.11.08 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KIZAKI KOJI;KISE KAZUO |
| 分类号 |
B08B11/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02 |
主分类号 |
B08B11/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
