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发明名称 CLEANING AND DEBURRING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH08134673(A) 申请公布日期 1996.05.28
申请号 JP19940273186 申请日期 1994.11.08
申请人 I N R KENKYUSHO:KK 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 C23G5/00;C23F4/00;H01J37/04;H01J37/18;H01J37/248;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23G5/00;H01L21/306 主分类号 C23G5/00
代理机构 代理人
主权项
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