| 发明名称 |
FORMATION OF CVD FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08134650(A) |
申请公布日期 |
1996.05.28 |
| 申请号 |
JP19940300291 |
申请日期 |
1994.11.09 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
OYAMA KATSUMI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
