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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69026587(D1) 申请公布日期 1996.05.23
申请号 DE19906026587 申请日期 1990.12.28
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HOZUMI, HIROKI, SHINAGAWA-KU TOKYO, JP;AIDA, KICHIO, SHINAGAWA-KU TOKYO, JP
分类号 H01L21/316;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/02;H01L29/41;(IPC1-7):H01L21/74;H01L23/48 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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