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发明名称 Ätzgerät unter Verwendung eines fokussierten Ionenstrahls
摘要
申请公布号 DE69115818(T2) 申请公布日期 1996.05.23
申请号 DE19916015818T 申请日期 1991.09.30
申请人 SHIMADZU CORP., KYOTO, JP 发明人 YAMAKAGE, YASUHIRO, DAI 10 RAKUSAI ABANHIRU, FUSHIMI-KU, KYOTO 612, JP
分类号 H05H5/00;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305;H01J37/08 主分类号 H05H5/00
代理机构 代理人
主权项
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