发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von ultradünnen Schichten und von Schichtelementen
摘要
申请公布号 DE59302244(D1) 申请公布日期 1996.05.23
申请号 DE19935002244 申请日期 1993.08.03
申请人 HOECHST AG, 65929 FRANKFURT, DE 发明人 APPEL, GUNTHER, D-65795 HATTERSHEIM, DE;BAUER, JACQUELINE, D-65824 SCHWALBACH, DE;HICKEL, WERNER, DR., D-67061 LUDWIGSHAFEN, DE;LUPO, DONALD, DR., D-65817 EPPSTEIN/TS., DE;PRASS, WERNER, DR., D-55128 MAINZ, DE;SCHEUNEMANN, UDE, DR., D-65835 LIEDERBACH, DE
分类号 B05D1/20;(IPC1-7):B05D1/20 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
地址