发明名称 一种制备超微量子器件的方法
摘要 一种利用扫描隧道显微镜(STM)操纵原子以制备超微(纳米级)量子器件的方法,其特点是用STM针尖在晶体表面按某一晶向刻出两条平行沟道,两沟道间的距离为1-3个原子,形成原子链(量子线)。然后,再用STM搬运一个原子放置于原子线上,构成开关器件。另一种方法是用STM在晶体表面刻出沟道后再搬入(填充)其他种类的原子到该沟道内,构成“分子夹层结构”。本发明制备的超微量子器件有清晰的固-固界面,可控制到一个原子的精度,可用于量子线的delta掺杂研究和量子器件集合效应研究,以及其他超微量子器件的基本过程研究。
申请公布号 CN1031851C 申请公布日期 1996.05.22
申请号 CN94112234.4 申请日期 1994.07.18
申请人 复旦大学 发明人 华中一
分类号 H01L21/00;H01L49/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 复旦大学专利事务所 代理人 陆飞
主权项 1.一种制备超微量子器件的方法,利用扫描隧道显微镜操纵原子,其特征在于(1)用扫描隧道显微镜的针尖在晶体表面按某一晶向取走一排原子,使其成为一沟道,然后再在间隔1-3原子距离,按相同方向,平行地取走另一排原子,使其成为另一沟道,两沟道之间形成一个量子线;(2)再用扫描隧道显微镜的针尖搬迁一个原子放在量子线的某个原子上,使放置前后的量子线构成两个不同电子态,成为一个超微量子开关器件。
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