发明名称 Optical displacement measuring apparatus
摘要
申请公布号 EP0532182(B1) 申请公布日期 1996.05.22
申请号 EP19920307396 申请日期 1992.08.12
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 发明人 TAKEMORI, TAMIKI;KOBAYASHI, YUJI
分类号 G01B11/00;G01B11/16;G01P3/36;G01P3/38;G01P3/80;(IPC1-7):G01P3/36 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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