发明名称 |
Optical displacement measuring apparatus |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0532182(B1) |
申请公布日期 |
1996.05.22 |
申请号 |
EP19920307396 |
申请日期 |
1992.08.12 |
申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS K.K. |
发明人 |
TAKEMORI, TAMIKI;KOBAYASHI, YUJI |
分类号 |
G01B11/00;G01B11/16;G01P3/36;G01P3/38;G01P3/80;(IPC1-7):G01P3/36 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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