| 发明名称 |
IMAGING METHOD FOR MANUFACTURE OF MICRODEVICES AND EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR960006684(B1) |
申请公布日期 |
1996.05.22 |
| 申请号 |
KR19920002719 |
申请日期 |
1992.02.22 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
SUZUKI, AKIYOSHI;NOGUCHI, MIYOKO |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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