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发明名称 Positive resist composition
摘要
申请公布号 EP0430477(B1) 申请公布日期 1996.05.22
申请号 EP19900312294 申请日期 1990.11.09
申请人 NIPPON ZEON CO., LTD. 发明人 OIE, MASAYUKI;KAWATA, SHOJI;YAMADA, YAKAMASA;IKEDA, SHINYA
分类号 G03F7/022;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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