首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
Plasma processing method
摘要
申请公布号
EP0474244(B1)
申请公布日期
1996.05.22
申请号
EP19910115085
申请日期
1991.09.06
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
FUKASAWA YOSHIO;MOMOSE KENJI
分类号
H01L21/3065;H01L21/302;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
СПОСОБ ЛЕЧЕНИЯ ГИПЕРХОЛЕСТЕРИНЕМИИ
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЫ, СПОСОБ ИОНИЗАЦИИ, ПРИМЕНЕНИЕ СПОСОБА И ПРИМЕНЕНИЕ УСТРОЙСТВА (ВАРИАНТЫ)
ПРОИЗВОДНЫЕ АМИНОАЛКЕНИЛБЕНЗОИЛ-БЕНЗОФУРАНА ИЛИ БЕНЗОТИОФЕНА, СПОСОБЫ ИХ ПОЛУЧЕНИЯ И СОДЕРЖАЩИЕ ИХ КОМПОЗИЦИИ
НОВОЕ СОЧЕТАНИЕ АГОНИСТА (5-TH2) И АНТАГОНИСТА (5-HT6) СЕРОТОНИНА В КАЧЕСТВЕ ФАРМАЦЕВТИЧЕСКОЙ КОМПОЗИЦИИ
ПРЕДСКАЗАНИЕ ФОРМЫ СЕЙСМОПРИЕМНОЙ КОСЫ С ПОМОЩЬЮ НЕЙРОННОЙ СЕТИ
DISPLAY HOOK BACK FOR PEGBOARD
CUT TAPE MACHINE AND CUT TAPE USING IN THE SAME
COATING RESIN COMPOSITION AND ITS PREPARATION PROCESS
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING HOT-DIP COATED METAL STRIP
IRON BASED POWDERY MIXTURE AND METHOD OF PRODUCING IRON BASED SINTERED COMPACT
PIGMENT DISPERSANT, PIGMENT DISPERSION COMPOSITION AND COLORED PHOTOSENSITIVE COMPOSITION COMPRISING THE DISPERSANT
HIGH IMPACT-ABSORBING THERMOPLASTIC ELASTOMER
THERMOPLASTIC RESIN COMPOSITION
RESIN COMPOSITION FOR CASTING
POLYPROPYLENE RESIN COMPOSITION
PROCESS FOR PRODUCING RUBBER COMPOSITION
CURABLE RESIN COMPOSITION AND SHEET OF B-STAGE RESIN COMPOSITION
ACTIVE-ENERGY-RAY CURABLE COMPOSITION AND POLYMER FOR OPTICAL MATERIAL
ACRYLIC RESIN FILM, METHOD FOR MANUFACTURE THE SAME AND LAMINATED SHEET OF THE FILM
REAGENT FOR DETECTING BACILLUS ANTHRACIS