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经营范围
发明名称
DC POWER SOURCE FOR PULSATING DISCHARGE OF VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08127871(A)
申请公布日期
1996.05.21
申请号
JP19940267371
申请日期
1994.10.31
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
YAMAGUCHI HISAO
分类号
C23C14/34;C23C14/54;C23F4/00;(IPC1-7):C23C14/54
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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