发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08130307(A) 申请公布日期 1996.05.21
申请号 JP19940290427 申请日期 1994.10.31
申请人 NEC CORP 发明人 ITO YUKIO
分类号 H01L27/04;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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