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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH08130189(A) 申请公布日期 1996.05.21
申请号 JP19940290584 申请日期 1994.10.31
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAKARI YASUTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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