发明名称 METHOD OF ANISOTROPIC ETCHING OF MESOSTRUCTURES
摘要
申请公布号 RU1266402(C) 申请公布日期 1996.05.20
申请号 SU19853861900 申请日期 1985.02.21
申请人 BRYUKHNO N.A. 发明人 BRYUKHNO N.A.
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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