发明名称 METHOD OF OBTAINING DIELECTRIC COATINGS
摘要
申请公布号 RU940601(C) 申请公布日期 1996.05.20
申请号 SU19803251240 申请日期 1980.12.29
申请人 ILICHEV E.A.;SLEPNEV YU.V.;POLTORATSKIJ E.A.;RODIONOV A.V.;EMELYANOV A.V.;INKIN V.N. 发明人 ILICHEV E.A.;SLEPNEV YU.V.;POLTORATSKIJ E.A.;RODIONOV A.V.;EMELYANOV A.V.;INKIN V.N.
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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