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发明名称 PULSE HEAT TOOL
摘要
申请公布号 JPH08124971(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940257749 申请日期 1994.10.24
申请人 NEC CORP 发明人 GOMI SATOSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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