发明名称 ETCHING METHOD FOR MEMBER CONTAINING F MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH08124910(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940263687 申请日期 1994.10.27
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 C01B33/10;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C01B33/10
代理机构 代理人
主权项
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