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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH08124871(A)
申请公布日期
1996.05.17
申请号
JP19940260574
申请日期
1994.10.25
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
KUROOKA KAZUMI
分类号
H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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