发明名称 METHOD OF MANUFACTURING DIFFUSED WAFER
摘要
申请公布号 JPH08124867(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940283992 申请日期 1994.10.25
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 HIROSE KEIGO
分类号 H01L21/22;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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