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经营范围
发明名称
METHOD OF MANUFACTURING DIFFUSED WAFER
摘要
申请公布号
JPH08124867(A)
申请公布日期
1996.05.17
申请号
JP19940283992
申请日期
1994.10.25
申请人
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD
发明人
HIROSE KEIGO
分类号
H01L21/22;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
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