| 发明名称 |
VACUUM PLASMA TREATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08124864(A) |
申请公布日期 |
1996.05.17 |
| 申请号 |
JP19940264700 |
申请日期 |
1994.10.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SUZUKI MASAKI;NAKAYAMA ICHIRO;WATANABE AKIZO;TAMAOKI NORIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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