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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR FABRICATING THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH08125185(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940257146 申请日期 1994.10.21
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO
分类号 C23C14/02;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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