| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08125151(A) |
申请公布日期 |
1996.05.17 |
| 申请号 |
JP19940264090 |
申请日期 |
1994.10.27 |
| 申请人 |
TERA TEC:KK |
发明人 |
OKA SADAJI;YAGIHARA TAKESHI;MIURA AKIRA;KOBAYASHI SHINJI;FUJITA TADASHIGE |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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