发明名称 ADHESIVE TAPE FOR REMOVING IMPURITY ATTACHED TO SEMICONDUCTOR WAFER AND REMOVAL
摘要
申请公布号 JPH08124892(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940282636 申请日期 1994.10.21
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 CHIKADA YASU;MIKI KAZUYUKI
分类号 B08B7/00;C09J7/02;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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