发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08125020(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940264140 申请日期 1994.10.27
申请人 SONY CORP 发明人 KIYOTA HISAHARU
分类号 H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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