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发明名称 CONTACT STRUCTURE AND FORMING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08124874(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940263447 申请日期 1994.10.27
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIDA MINORU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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