发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08122179(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940257216 申请日期 1994.10.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YOSHIOKA KOICHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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