发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08125182(A) 申请公布日期 1996.05.17
申请号 JP19940265695 申请日期 1994.10.28
申请人 NEC CORP 发明人 KITANO TOMOHISA
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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